技术编号:9745558
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,属于超硬材料制备。背景技术化学气相沉积法(CVD)制备的自支撑金刚石膜按照品质可分为工具级、热沉级、光学级和电子级(或称为探测器级),其中工具级金刚石膜要求具有相对高的力学性能,其内部含有大量的各类缺陷,因而其在外观上显现出灰黑的颜色。热沉级金刚石膜需要具有相对较高的热导率,其内部含有的各类缺陷的密度相对于工具级金刚石膜低一些。光学级金刚石膜需要具有相对较高的光学透过率,这就要求其内部含有的各类缺陷更少,以保证其在外观和性能上都表现出优良的光学...
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