技术编号:9748462
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种干涉仪,它尤其适用于高精度的位置测量和/或距离测量。背景技术由US4,752,133已知所谓的平面镜干涉仪。这个干涉仪包括光源、第一分光器以及检测单元。通过第一分光器使由光源发射的光束分裂成至少一测量光束和至少一参考光束。然后测量光束和参考光束分别在测量臂和参考臂中传播直到在分光器中再联合。在测量臂中由平面镜构成的测量反射器设置在活动的测量目标上;参考臂具有至少一参考反射器。利用检测单元可以检测来自再联合的、干涉的测量光束和参考光束或测量目标...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。