技术编号:9748470
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。彩膜基板的像素中,每一个亚像素单元(红色亚像素单元R、绿色亚像素单元G、蓝色亚像素单元B)的线宽(CD)是一项需要重点监控的特性值,传统测量亚像素单元线宽的方法为扫描彩膜基板上待测亚像素单元区域的图像,根据图像的灰度值变化情况得到待测亚像素单元的边缘位置,然后通过对获得的边缘位置进一步进行计算得到待测亚像素单元的线宽;上述方法中,由于扫描区域内往往存在多个亚像素单元,且每一个亚像素单元的边缘位置处的灰度值变化较相似,因此,在寻找待测亚像素的边缘位置时,很容...
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