技术编号:9749239
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。声表面波(SAW)的能量主要集中在表面以下I?2个波长的范围内,对表面特性的变化比较敏感。因此,将对特定气体敏感的材料沉积到SAW器件上,气体与敏感膜的物理效应将会弓I起SAW速度的变化。通过沉积不同的敏感材料可检测多种气体。SAff气体传感器的性能主要取决于两个方面敏感膜和SAW振荡器。目前,SAff气体传感器的研究主要聚焦于气体敏感膜的特性,包括膜的类型、厚度、对分析吸附物粘弹性的变化和成膜技术。SAW振荡器的频率稳定性影响灵敏度、探测门限等,优化频率...
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