技术编号：9749308
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。高纯氯气是光纤通讯、微电子、高温超导材料的制备中不可缺少的基础材料，随着光纤通信、电子工业等的快速发展，高纯氯用量越来越大，对氯气中杂质含量的要求越来越严格，目前应用于电子行业的氯气纯度在5N(99.999%)左右，即使极微量的杂质气体进入工序中也可能导致最终的电子元器件产品质量下降。如何准确可靠的测定氯气中痕量杂质是氯气生产和应用中所要面对的主要问题之一。发明内容本发明的目的是提供，检测下限可以达lOppb。为了达到上述目的，本发明提供了一种电子级氯气的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。