光滤波器以及使用其的分析设备和光设备的制造方法技术资料下载

技术编号:9749848

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专利说明光滤波器以及使用其的分析设备和光设备 本申请是申请号为201110057787.1、申请日为2011年3月8日、申请人为精工爱普生株式会社、发明名称为“光滤波器以及使用其的分析设备和光设备”的发明专利申请的分案申请。本发明涉及光滤波器以及使用其的分析设备和光设备等。背景技术现提出有使透过波长可变的干涉滤波器(专利文献I)。如专利文献I的图3所示,具备被相互平行地保持的一对基板、按照在该一对基板上相互对置并且具有一定间隔的间隙的方式形成的一对多层膜(...
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