技术编号：9752541
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。发光二极管(Light Emitting D1de, LED)是一种将电能转化为光能的半导体器件，具有效率高、功耗低、寿命长、无污染等优点，目前常用的半导体材料的氮化镓(GaN)。目前，蓝宝石被广泛用于氮化镓薄膜的衬底材料。为了提高LED光取出效率，可以采用图形化蓝宝石衬底(Patterned Sapphire Substrate, PSS)。图形化蓝宝石衬底是指在蓝宝石平面衬底上制备出周期性的微米或者纳米级的图形化结构。图形化的界面不仅能减少GaN外延过...
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