技术编号：9752544
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 集成光波导传感器是集成光学技术的一个重要应用领域。集成光波导传感器不但 继承了光纤传感器的优点，而且更有利于实现多功能集成、紧凑封装和批量生产，以及拥有 小型轻量、稳定可靠、低耗高效等其他传统传感器无法比拟的优势，是新一代微型化、集成 化和智能化传感器系统的重要组成部分。 当传感器变得更为精巧并且对其集成度要求更高时，集成光波导传感器的优势会 越来越明显，应用领域也会更加广阔。目前集成光波导传感器的各种用途主要有压力、电磁 场、流量、加速度、角速度传感器...
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