技术编号:9752600
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。石英玻璃制品以其优良的物理化学特性,被广泛用于微电子产业集成电路芯片制造业。石英舟是扩散时用到的工具。授权公告号为CN202503019U,授权公告日为2012年10月24日的中国发明专利公开了一种能够承载不同规格硅片的多功能石英舟,属于石英制品。多功能石英舟,包括舟首、舟身和舟尾,所述舟身由纵向构件形成,所述纵向构件包括龙骨和龙筋,所述龙骨和龙筋上均设置有成排的卡槽,所述龙骨和龙筋上的卡槽均设置在内上角。本发明创造性地采用“内上角”技术固定了卡槽的位置,...
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