技术编号：9752716
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来，对在配置为矩阵状的每个显示像素中设置由TFT构成的开关元件的有源矩阵型显示装置(液晶显示装置、发光显示装置、电泳式显示装置)正在积极地进行研究开发。由于有源矩阵型显示装置在各个像素(或每个点)中设置开关元件，与单纯矩阵方式相比，在增加像素密度的情况下能够以低电压进行驱动而具有优势。另外，将氧化物半导体膜用于沟道形成区域来形成薄膜晶体管(TFT)等，并将其应用于电子装置或光装置的技术受到关注。例如，可以举出将氧化锌(ZnO)用作氧化物半导体膜的TFT...
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