技术编号:9752890
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。有机发光二极管(Organic Light Emitting D1de,简称0LED)是一种有机薄膜电致发光器件,其具有易形成柔性结构、视角宽等优点;因此,利用有机发光二极管的显示技术已成为一种重要的显示技术。对有机发光器件的基板进行蒸镀的蒸镀装置包括蒸镀腔体、位于蒸镀腔体内的蒸镀源和用于承载基板的载板。目前,在对有机发光器件的基板进行蒸镀作业时,通常将基板粘贴在载板上,然后基板的向下、且蒸镀源向上的蒸镀方式进行蒸镀,进而能够避免蒸镀腔室内落下的粒子对器件...
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