技术编号：9755326
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。麦克风分为动圈式麦克风和电容式麦克风。传统的动圈式麦克风由线圈、振膜和永磁铁组成，它是基于线圈在磁场中的运动产生感应电流的原理;而电容式麦克风的主要结构为两块电容极板，即作为上极板的振动膜(D i a P h r a g m)和作为下极板的背板(Backplate)，它的工作原理是通过声压引起振动膜的形变，导致电容值发生改变，从而转换为电信号输出。MEMS麦克风是迄今最成功的MEMS产品之一。MEMS麦克风是通过与集成电路制造兼容的表面加工或体硅加工工艺制...
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