技术编号:9756837
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现有的静电电容型触摸面板由金属膜、绝缘膜、透明电极膜等构成,检测出指尖的静电电容,从而通过x、Y坐标检测出接触了面板内的哪个位置。上述金属膜、绝缘膜以及透明电极膜的图形化如以下那样进行。在对各膜进行成膜并且在膜上涂覆有光致抗蚀剂之后,进行曝光以及显影从而形成光致抗蚀剂的图案。将该图形化的光致抗蚀剂作为掩膜对各膜进行蚀刻(例如,参照专利文献I)。专利文献1日本特开2011 —197754号公报但是,上述现有的需要向成为图形化的对象的膜涂敷光致抗蚀剂的涂覆工序...
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