技术编号:9757071
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明相关共同未决申请的交叉引用本申请要求于2013年7月17日提交并且名称为“APPARATUS AND METHOD FORSEMICONDUCTOR WAFER LEVELING ,FORCE BALANCING AND CONTACT SENSING” 的序列号为61 /847,118的美国临时申请的权益,其内容通过引用明确地并入本文。本申请是于2010年4月15日提交并且名称为“DEVICE FOR CENTERING WAFERS”的序列号为...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。