技术编号:9757321
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明用于MEMS电容式换能器的信号处理本申请涉及用于处理换能器(尤其MEMS电容式换能器)检测到的信号的信号处理电路,并且尤其涉及用于这样的换能器(尤其用于MEMS传声器)的读出电路。MEMS电容式换能器(诸如,MEMS传声器)通常由两个平面电极组成,其中一个电极是柔性的且相对于另一个电极可移动。柔性电极响应于入射激励(例如,声压)而移动,因此将极板之间的距离从静态值d更改到值(d+x)。对于许多MEMS传声器,在传声器的正常运行范围内,位移x(大致)...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。