技术编号：9760141
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。大面积、大槽深的原刻母版光栅在机械刻划过程中往往由于毛坯镀铝膜层较厚，镀膜工艺难以保持镀铝膜层材料、力学性质的上下一致，常常造成镀铝膜层上部材料较疏松，底部材料较密实。另外，由于较厚的镀铝膜层通过一层薄且硬的镀铬膜层连接于玻璃基底上，玻璃基底及镀铬膜层会对上层较厚的镀铝膜层产生硬基底效应，从而改变金刚石刀具刻划过程中底部材料的变形特性，使得槽形难以控制。相关的硬基底效应对镀铝膜层材料、力学性质的影响规律已经通过标准化纳米压痕、划痕测试进行了表征。此外，机械...
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