技术编号：9761365
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在现有的微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System,简称 MEMS)运动传感器的释放悬浮结构工艺中，通常采用湿法腐蚀释放的工艺，湿法腐蚀工艺容易造成释放后的悬浮结构和衬底发生黏附作用造成器件的失效。湿法腐蚀用的腐蚀液，需要回收进行无害化处理，无疑又增加了生产成本。微电子机械系统通常包括弹簧、悬臂梁、薄膜、铰链和齿轮等微/纳型基本单元，在这些典型结构的制造过程中，由于微型机械的表面积与体积之比相对提高，表面效应和尺寸...
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