一种直拉法制备大尺寸单晶硅棒的方法及单晶炉的制作方法技术资料下载

技术编号:9762540

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直拉法生产娃单晶需要化料、引晶、放肩、等径、收尾和冷却等工艺过程,为了降低 生产成本,大尺寸单晶生长已成为主流,单晶炉单次投料量增大,单晶炉热场尺寸增大,目 前,光伏用单晶热场石墨相蜗尺寸普遍由22寸增大至24或26寸,已达到单炉最大投料量的 增加,只有单次投料量增加后热场运行平稳并生长时长相应缩短,才能达到提高单炉产能、 降低成本的目的。单晶炉热场增大后,加热器距离烙体中屯、点的区间变长,为了保证单晶炉 生产安全,会相应加大加热功率,W保证溶液中屯、点...
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