一种基于级联耦合微腔的温度/折射率双参数传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9764595

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折射率和溫度在物理、化学、生物等学科领域是两个非常重要的参数指标。液体折 射率与液体的物质成分、组成浓度有着直接密切的关系,通过测量液体样本的折射率来推 断其组分浓度已成为一种常用的分析测量方法;溫度是反映生物物质活性和生化反应速 率、过程的重要指标。因此对折射率和溫度的精确测量在化工生产、食品检测、生物医药、环 境监测等领域有着相当重要的意义。 微型化、集成化、便携化、多功能化已经成为新型光学传感器的主要发展趋势,针 对W上几点,基于集成平面光波导的微...
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