技术编号：9764666
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明设及。更具体地，本发明设及由娃片制成的压力 传感器。背景技术 压力传感器的高压背侧应用的现有设计对于许多应用是不够的。一般的压力传感 器利用膜片作为该压力传感器的压力检测元件。该膜片仅在一侧暴露于正压或负压，产生 一个横跨该膜片的压力差。该压力差使该膜片弯曲，弯曲的量可W引起例如电阻或电容的 变化，该变化可W由电路测量。 现有设计的一个问题在于，它们不限制至该膜片的压力流量。因此，当该压力传感 器暴露于剧烈变化时，该膜片将经历非常快速的压力变化。运...
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