技术编号：9765409
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造，特别涉及一种。背景技术随着液晶显示尺寸的不断地增大，分辨率不断地提高，而投影光刻机作为液晶显示行业核心的加工设备之一，面临着众多的技术难题。当前，高世代的光刻机为了满足液晶显示尺寸及分辨率的需求，主要通过一下两种方式一是将投影物镜做大，来满足大尺寸玻璃基板的高产率需求，如日本Canon公司采用该种技术来实现高世代的投影光刻；一是采用拼接式的多物镜方式，来达成大尺寸玻璃基板的高产率曝光，如日本Nikon公司，具体可参见名称为曝光方法、曝...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。