技术编号：9765413
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体制造装备，主要涉及一种基于平面光栅测量动线圈磁浮双工件台矢量圆弧回转换台方法及装置。背景技术光刻机是极大规模集成电路制造中重要的超精密装备之一。作为光刻机关键子系统的工件台在很大程度上决定了光刻机的分辨率、套刻精度和产率。产率是光刻机发展的主要追求目标之一。在满足分辨率和套刻精度的条件下，提尚工件台运彳丁效率进而提尚提尚光刻机广率是工件台技术的发展方向。提尚工件台运彳丁效率最直接的方式就是提高工件台的运动加速度和速度，但是为保证原有精度，速...
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