技术编号:9767568
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。ALN压电薄膜是一种性能优良的压电薄膜,近年来随着针对该技术研发工作的深入展开,其使用性能得到了显著提高,已经在社会生产的诸多领域得到了应用。然而现有技术的ALN压电薄膜由于其容易受损、使用寿命有待提高,因此影响了应用范围。发明内容本发明旨在针对现有技术的技术缺陷,提供一种ALN压电薄膜,以提升其使用寿命O为实现以上技术目的,本发明采用以下技术方案一种ALN压电薄膜,包括保护层,ALN层,二氧化硅层,其中二氧化硅层位于所述ALN压电薄膜的下部,保护层位于所...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。