技术编号：9768143
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在声作用下，话筒膜垂直于层结构的层平面地偏转。由此，在话筒膜和固定的对应元件之间的距离改变。话筒膜和对应元件分别配备有至少一个电容器电极，使得话筒膜的“面外(Out-of-plane)”偏转可作为电容器装置的电容变化被感测。但是，膜在结构元件的层结构上的连接引起膜的弯曲或者说拱曲，所述弯曲或者说拱曲会对话筒性能产生负面影响。这样的拱曲尤其会导致，在膜偏转和测量信号之间的关联在声压较高时不再是线性的。在高性能的MEMS话筒中总是力求高的信噪比SNR(sign...
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