技术编号:9768621
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 图10是示出W往的引线键合(Wire Bonding)装置的立体图。 该引线键合装置的XYZ轴形成为Ξ层结构。在第一层2上配置有固定基座3,在固定 基座3上设置有X轴十字滚子导轨4。在X轴电动机部15上配置有X线性电动机17。通过X线性 电动机17使下部移动板6在X轴十字滚子导轨4上沿X轴方向移动。在第二层上配置有Y轴十 字滚子导轨12,通过Y线性电动机42使上部移动体10在Y轴十字滚子导轨12上沿Y轴方向移 动。 在第Ξ层上设置有载置于上部移动体10的...
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