一种电容式微机械超声传感器特性分析方法技术资料下载

技术编号:9769885

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本发明涉及。背景技术 超声波成像技术已在医用超声诊断、医用超声治疗、无损检测、超声显微镜和海洋 地貌探测等多个领域内得到了广泛的应用,而超声传感器是实现超声成像的关键部件之 一。电容式微机械超声传感器(CMUT)是一种基于静电能量转换机理的新型超声换能器,其 与压电超声传感器相比,具有多方面的优势(1)具有较低的声阻抗,不需要复杂的阻抗匹 配层,易于空气、水、人体组织等介质的阻抗匹配。(2)具有更宽的带宽。(3)阵列设计灵活, 并具有良好的一致性、可重复性...
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