技术编号:9778691
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。基板加工装置是用于例如分断由玻璃等形成的脆性材料基板。专利文献I公开了现有基板加工装置的一个例子。该基板加工装置具备搬送带,搬送脆性材料基板;定位装置及夹紧装置,在脆性材料基板的搬送方向上配置于搬送带的上游侧;及刻划装置,在脆性材料基板的搬送方向上配置于搬送带的下游侧。基板加工装置还具备第I驱动装置,在脆性材料基板的搬送方向上移动搬送带;及第2驱动装置,在脆性材料基板的搬送方向上移动夹紧装置。根据所述基板加工装置,首先利用定位装置决定脆性材料基板的位置。接...
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