技术编号:9784882
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现有的通过⑶-SEM(关键尺寸扫描电子显微镜)量测⑶(关键尺寸)的方法数据收集过程耗时较多;扫描电子显微镜在量测关键尺寸时需要在光学显微镜和电子显微镜间来回切换,且电子显微镜的对焦过程十分缓慢,正常情况下量测200个关键尺寸点需要耗时40分钟。发明内容本发明要解决的技术问题是提供一种通过光学量检测制品最佳焦距的方法,能有效缩短量测CD (关键尺寸)的时间。为解决上述技术问题,本发明的一种通过光学量检测制品最佳焦距的方法是采用如下技术方案实现的采用KTArc...
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