技术编号：9789039
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及扫描类型带电粒子显微镜，其包括 -样本保持器，用于保持样本； -源，用于产生带电粒子射束； -照射器，用于引导所述射束以便辐照样本； -检测器，用于检测响应于所述辐照而从样本发射出的辐射通量；-扫描装置，用于产生射束和样本的相对扫描运动以便使射束在样本上描绘出扫描路径； -可编程控制器，其可以被调用来在显微镜中执行至少一个自动化程序。本发明还涉及使用这样的带电粒子显微镜的各种方法。背景技术带电粒子显微术(尤其以电子显微术的形式)是对于微...
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