技术编号:9789042
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及用于表面的等离子体处理的装置,其具有第一电极和第二电极以及在 第一电极和第二电极之间的交变电压源、以及在第一电极和第二电极之间形成的电场,且 具有布置在第一电极的前面且待处理的表面可位于其中的有效区域,第二电极布置得比第 一电极更接近于有效区域。 本发明还涉及用等离子体处理表面的方法,其中在第一电极和第二电极之间施加 交变电压,在这两个电极之间产生交变电场,待处理的表面位于第一电极的前面且第二电 极布置得比第一电极更接近于所述表面。背景技术 当...
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