技术编号：9793296
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。纳米线(nanowire)是指作为各种半导体纳米结构物之一，具有纳米级尺寸的线结构体。其涵盖大体上直径从小于1nm到数百nm的纳米线。关于这些纳米线所提出的制备方法大致分为三种。首先，提出了通过电子束光刻(e-beamlithography)设备将光刻胶图案化为纳米级图案，通过将图案化的光刻胶用作掩模来对硅进行纳米蚀刻以制得二维硅纳米线的方法。但根据这些现有硅纳米线的制备方法，纳米线的制备成本高，不适合于大规模生产。其次，提出了在形成纳米级金属催化剂之后，...
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