技术编号：9793846
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在文献DE 10 2007 057 500 A1中描述气体传感器元件。气体传感器元件之一是 微机械制造的金属氧化物气体传感器，其具有贴靠在框架上并且承载铂加热装置的膜片。 该框架借助于各向异性刻蚀工艺由硅晶片制造。发明内容 本发明实现一种具有权利要求1的特征的微加热板装置以及具有权利要求11的特 征的具有微加热板装置的传感器。 发明的优点 本发明实现一种微加热板装置或者配备有所述微加热板装置的传感器，其具有到 微加热板装置/传感器的外部环境中的减小的热输...
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