技术编号：9793935
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀 剂的方法 相关申请的交叉引用 本申请要求于2014年8月20日提交的韩国专利申请第10-2014-0108634号的优先 权，并将其公开内容在此通过引用的方式全部纳入本说明书中。 本发明涉及一种用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其剥离光致抗蚀剂 的方法。更具体而言，本发明涉及一种用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物，其即使不含有 显示出生殖毒性的溶剂，也能够显示出优异的剥离和冲洗光致抗蚀剂的能力...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。