技术编号:9793953
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压力式流量控制装置的改良,特别涉及通过提高下降时的响应性,可大幅提高半导体制造装置用等的原料气体供给装置的动作性能的压力式流量控制装置。背景技术以往,在半导体制造装置用等的原料气体供给装置中,将热式流量控制装置和压力式流量控制装置广泛利用于供给气体的流量控制。特别,如图6所示,压力式流量控制装置FCS包括以下部件而构成压力控制用控制阀CV、温度检测器T、压力传感器P、流孔0L、由温度校正.流量运算电路⑶a与比较电路⑶b与输入输出电路⑶c与输出电路...
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