技术编号:9799439
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在基板上涂布涂布液的,特别涉及能够容易地将存在于从涂布装置的涂布液容器连结到涂布喷嘴的配管内的空气去除的。背景技术在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中使用在由玻璃等构成的基板上涂布抗蚀剂液而成的基板(称之为涂布基板)。该涂布基板通过均匀地涂布抗蚀剂液(以下称之为涂布液)的涂布装置而形成。也就是说,涂布装置具有用于载置基板的工作台以及具有喷出涂布液的接口部的涂布单元,该涂布装置进行一边使涂布液从接口部的狭缝喷嘴喷出一边使基板和涂布单元相对移动的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。