技术编号:9800273
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统在21世纪具有极强的发展空间,被广泛应用到工业和生活中的各个领域,微机电系统的发展方向是由“微电子-机械”向“微机械-电子”进行转变,微机电系统的突出特点是零部件尺度在毫米以下的量级之内,所以加工装配均较为复杂,传统的加工设备难以胜任这种尺度的零件加工和精度要求,需要特制的微型机床进行加工,由于尺度效应的影响,摩擦力已成为精度影响不可忽略的因素,在超精密加工中已被广泛应用的磁悬浮技术作为一种无摩擦的驱动运输模式在微纳加工中也可以得到理想的应用。传...
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