一种水浮式超薄玻璃基板测量平台的制作方法技术资料下载

技术编号:9808579

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随着电子工业的发展,平板显示产品日益呈现出惊人的成长潜力。作为平板显示产业链的上游产品,TFT-LCD超薄玻璃基板的需求量显得尤为巨大。在超薄玻璃基板的生产线上,质量控制是不可或缺的一环,其主要测量参数是玻璃的厚度和翘曲度,它们也是超薄玻璃基板生产过程中的主要工艺参数。对超薄玻璃基板进行精确测量是一个行业性的难题,因为它面积大,极轻薄,又很容易变形与破碎。倘若超薄玻璃本身就有一定的翘曲变形,将其放在高平面度的水平测量平台上,下凹面与测量平台面接触,上凸面就...
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