技术编号：9808793
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。X射线衍射成像是细微结构成像的重要技术手段，当某物质进行衍射分析时，该物质被X射线照射产生不同程度的衍射现象，物质组成、分子内成键方式、分子的构型等决定该物质产生特有的衍射图谱。X射线衍射方法具有不损伤样品、无污染、快捷、测量精度高、能得到有关晶体完整性的大量信息等优点。精密多轴运动平台是X射线衍射成像系统的重要组成部分，是工件实现多轴运动和多角度检测的重要工具。随着通信工程、精密工程等领域的快速发展，高精度、高分辨率、高可靠性的超精密运动平台的研究越来越...
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