技术编号：9812332
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。薄膜晶体管(thin film transistor，TFT)作为一种开关元件被广泛地应用在液晶显示装置等电子装置中。现有技术中，在薄膜晶体管的制作过程中，在制作遮光层、栅极、源极、漏极或者是于薄膜晶体管相连的存储电容的时候，存在蚀刻制程。下面以遮光层为例进行描述，在制作遮光层的时候，首先设置一整层的金属层，然后通过蚀刻制程将整层的金属层蚀刻成为需要的形状，以形状遮光层。由于在制作的过程中需要蚀刻制程，因此会导致薄膜晶体管制作的时间周期较长。发明内容本发明...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。