技术编号：9812364
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。以往，已知有这样的基板处理装置一边在形成有清洁空气的气流的清洁环境下输送半导体晶圆、玻璃基板这样的基板，一边对该基板实施清洗处理等规定的基板处理。基板处理装置例如包括输入输出室，其用于从承载件输入基板或者将基板输出至承载件；输送室，其与该输入输出室连通；以及多个基板处理室，其沿着该输送室配置。并且，输入输出室的内部和输送室的内部利用风机过滤单元等形成清洁空气的气流(例如，参照专利文献I)。并且，在这样的清洁环境下抑制微粒附着于基板，并且利用设在输送室内的基...
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