技术编号：9812368
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于制造半导体器件的装置可能由于定期检查，突然异常检查或部件的更换作业而被中断一预定时间。此外，可能需要检查步骤以正常地操作装置。详细地说，可以在所述装置中提供代替普通基板的测试基板，并在与一正常工序相同的条件下在测试基板上进行检查工序。接着，可以检查经处理的测试基板，以确定装置是否正常操作。这种使用测试基板的检查工序被称为“时效作业”。所述时效作业可以包括基本颗粒检查，并且可以根据正常基板处理工序的种类进一步包括各种检查。此外，可以周期性地对装置的处理室...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。