具有单层栅极的非易失性存储装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9812485

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非易失性存储装置是即使在其电源供应被中断时仍然保持所储存的数据的存储装置。非易失性存储装置的各种单元结构以及各种单元阵列设计已经被提出以改善其性能。非易失性存储装置的典型的单位存储单元利用一种堆叠的栅极结构。这一结构包含依序地堆叠在半导体基板上的栅极绝缘层(被称为隧道绝缘层)、浮动栅极、栅极间的电介质层、以及控制栅极。由于电子系统随着新的制造技术的发展而变得更小,因此片上系统(SOC)产品已经有演进,而且在高性能的数字系统中变得很重要。所述SOC产品的每一...
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