技术编号:9812501
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。以往的固态摄像装置具备拍摄像素部,由将入射光光电转换为信号电荷的多个光电转换元件二维排列而成;以及周边电路部,从该拍摄像素部读取信号电荷并进行信号处理。该拍摄像素部及周边电路部存在设置于同一半导体基板上的情况。另外,在该固态摄像装置中,为了提高周边电路部的动作特性,有时采用LDD (Lightly Doped Drain,轻掺杂漏极)型晶体管作为周边电路部中的晶体管。该LDD型晶体管具备侧壁,设置于栅极的两侧面;LDD区域,设置于位于侧壁下方的半导体基板的...
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