技术编号:9812548
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。低温多晶娃(low-temperaturepolysilicon technology,简称LTPS)薄膜晶体管液晶显示器具有容易实现薄型化、轻量、高可靠性、高分辨率显示等优点,已逐渐成为市场上的主流。在LTPS薄膜晶体管元件制作中,因沟道长度越来越短,短沟道效应愈发明显。短沟道效应造成N型薄膜晶体管(NTFT)元件特性异常,如临界电压(Vth)偏大、关态电流(offcurrent)偏高,为了避免此类异常,一般NTFT元件制作均会在N+半导体层和沟道之间增...
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