半导体叠层用粘接剂组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:9815968

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本发明涉及一种在多层三维半导体的制造中叠层半导体芯片时使用的粘接剂组 合物。本申请主张2013年9月27日在日本申请的日本特愿2013-201592号、及2014年4月10日 在日本申请的日本特愿2014-081102号的优先权,将其内容引用于此。背景技术 随着电子设备的小型轻量化、大容量化,要求将半导体芯片高集成。但是,在电路 的微细化中,难以充分应对该要求。因此,近年来,通过将多片半导体芯片纵向叠层来高集 成化。 在半导体芯片的叠层中使用粘接剂。作为...
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