技术编号：9816282
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 机电系统(EMS)包含具有电及机械元件、致动器、换能器、感应器、光学组件(例如， 镜及光学膜)及电子仪器的装置。可按包含(但不限于)微尺度及纳米尺度的多种尺度来制 造 EMS装置或元件。举例来说，微机电系统(MEMS)装置可包含具有范围为约一微米至数百微 米或更大的大小的结构。纳米机电系统(NEMS)装置可包含具有小于一微米的大小(包含(例 如)小于数百纳米的大小）的结构。可使用沉积、蚀刻、光刻及/或蚀刻掉衬底及/或所沉积材 料层的部分或添加层以形成电及...
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