技术编号：9825168
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。半导体电路制造方法以及其他微米级和纳米级制造技术需要具有提高的分辨率的新的成像技术的开发。在生命科学中还需要改进的成像技术。诸如电子显微术和离子显微术的带电粒子射束显微术提供了比光学显微术明显更高的分辨率和更大的焦深。在扫描电子显微镜(SEM)中，一次电子射束被聚焦为微小光斑，该微小光斑扫描要被观察的表面。在表面受到一次电子射束撞击时，从表面出射二次电子。检测二次电子并且形成图像，其中在图像上的每个点处的亮度是由在射束撞击表面上的对应光斑时检测到的二次电子...
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