非接触式探针信号加载装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9825640

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TFT-1XD工艺生产过程中,TFT玻璃在阵列端完成所有制程后会进行电学检,这时需要一个探针信号加载装置来给TFT玻璃的信号接入金属片(Pad)加载信号,信号接入金属片利用金属线传输信号,TFT开关的栅极金属线控制TFT开关打开,源极信号线对像素电极进行充电,充电完成后,电子枪发射电子轰击TFT玻璃表面,同性相斥,充电正常的像素可以返回二次电子,充电异常的像素无法返回相同数目的二次电子,收集二次电子就会形成不同灰阶的灰度图,通过灰阶差异来判断是否存在不良。...
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