微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法技术资料下载

技术编号:9825712

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光学系统出瞳面波像差是衡量其成像质量的关键指标,对出瞳面波像差的矫正通常基于光学系统视场内特定的物像共轭点,即在特定的视场点位置完成光学系统的精密装调,以实现在该特定位置系统波像差最小的目的。视场是指在物空间中,在某一距离,光学系统所能接受的最大物体尺寸。在系统波像差检测过程中,如何准确的定位被测光学系统的视场点,是完成光学系统集成装调和波像差检测的前提。传统的视场点定位方法采用在系统波像差检测过程中,物面和像面配合扫面的反射确定视场点,工作量大,操作过程...
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