技术编号:9827174
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在显示器的基板制作过程中,往往需要涂布或者贴附多种层体/膜于基板表面,并经由加热烘烤等方式而使这些层体定型。举例而言,在光刻微影工艺中,可以在基板表面涂布光阻液体,并烘烤而形成光刻胶层,以进行后续的光刻微影工艺。然而,在加热烘烤基板的过程中,容易因为基板的材料、基板上的层体图案的布设、基板内离子的分布、基板的相对表面温度差异等其它原因,导致基板受热翘曲。此基板暂时性翘曲容易使得基板上待烘烤定型的液体受热不均,而有部份区域没有完全定型而附着力欠佳,造成容易剥...
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